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利用热歧化反应进行氮化铝陶瓷表面钛金属化工艺及正交实验研究 被引量:1

Study on Method for Orthogonal Experiment and Metallization process of A1N Ceramic Surface by Disproportionation Reactions
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摘要 利用熔盐热歧化反应法成功地进行了氮化铝陶瓷表面钛金属化。利用正交实验法就反应温度、反应时间、K2TiF6浓度3个因素对制备工艺进行探讨,研究各工艺参数对金属化膜厚度的影响。利用XRD、SEM对金属化膜的组成和陶瓷与金属化膜之间的界面进行了分析和观察,并对利用该法进行氮化铝陶瓷表面金属化的反应机理进行了初步探讨。 The titanium metallized film on A1N ceramic surface was produced by disproportionation reactions. An orthogonal experiment was designed to determine the influences of the reaction time, reaction temperature and the initial concentration of potassium fluorotitanate(K2TiF6%)in salt on process conditions. Through the experiment, the best process condition was determined. The composition of the coating layers, the microstructure and interface between the film and ceramic substrate were characterized by XRD, SEM. The reaction mechanism between A1N and Ti deposited by disproportionation reaction method was discussed.
出处 《现代技术陶瓷》 CAS 2001年第4期3-6,15,共5页 Advanced Ceramics
基金 国家自然科学基金资助项目 批准号:59862001
关键词 氮化铝陶瓷 金属化 热歧化反应 正交实验 表面金属化 工艺 钛金属化 AlN ceramic metallization dispropoitionation reaction orthogonal experiment
  • 相关文献

参考文献3

二级参考文献3

  • 1王佑祥,顾诠,崔玉德,陈新.Ti/Al_2O_3界面反应的俄歇电子能谱研究[J].真空科学与技术,1996,16(5):323-328. 被引量:2
  • 2黄岸兵 崔嵩.“氮化铝陶瓷材料”1997电子封装会议[M].,..
  • 3M. Koyama,S. Arai,S. Suenaga,M. Nakahashi. Interfacial reactions between titanium film and single crystal α-Al2O3[J] 1993,Journal of Materials Science(3):830~834

共引文献10

同被引文献4

引证文献1

二级引证文献1

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