一个会切阳极小矩形磁控源研究

STUDY OF A SMALL RECTANGULAR MAGNETRON SPUTTERING SOURCE WITH MULTIPOLE MAGNETIC FIELD

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摘要磁控源通常工作于0.1Pa～10Pa真空,常规的磁路设计难以使源小型化.单环靶面积利用率仅约30％,多环靶利用率达80％,但结构复杂.为此,我们研制了适合实验室使用的具有会切磁场阳极的小磁控原子源.1 源结构与特色磁控靶的性能分析及磁控靶场设计的理论计算与经验公式表明:磁控源的溅射速率随靶材而异,但与工作电压,气压及磁场强度的最佳匹配有关.磁控源靶磁路构成封闭环形跑道且水平磁场达数百高斯,是磁控放电的关键.

作者郑思孝

机构地区四川大学原子核科学技术研究所

出处《四川大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1991年第3期398-400,共3页 Journal of Sichuan University(Natural Science Edition)

关键词磁控源阳极会切磁场磁场

分类号 O572.21 [理学—粒子物理与原子核物理]

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1应根裕，真空科学和技术，1985年，5卷，30页
2范玉殿，真空，1982年，5卷，1页
3王文如，真空，1982年，5卷，8页

1郑思孝.小圆面非平衡磁控原子源研究[J].四川大学学报（自然科学版）,1992,29(4):580-582.
2一弓.环会切磁场大面积ECR等离子体源[J].等离子体应用技术快报,1996(10):8-9.
3冯毓材,冯隽,刘强.辅助镀膜用K系列强流宽束考夫曼离子源[J].激光与红外,2006,36(12):1168-1170. 被引量：2
4陈庚顺,吕奕,佟瑞宏.同轴配对电子回旋共振放电产生的等离子体磁场约束的影响[J].辽东学院学报（自然科学版）,2013,20(4):253-256.
5卫冰.会切磁场、空心阴极碳团粒离子源[J].等离子体应用技术快报,2000(12):11-13.
6赵青,李宏福,任同.会切磁场中大回旋电子束产生的研究[J].核聚变与等离子体物理,2005,25(3):223-227. 被引量：1
7刘谦祥,郭希铭,赵杰.磁场对麦瓦(MEVVA)离子源电荷密度分布的影响[J].天津师范大学学报（自然科学版）,2003,23(1):59-62.
8不会切到手的安全直尺[J].学苑创造（C版）,2015,0(11):7-7.
9不会切到手的安全直尺[J].文体用品与科技,2015,0(23):4-4.
10Conn.,JW,王惠三.利用磁会切均化器对膜厚度分布的优化[J].国外核聚变与等离子体应用,1999(5):62-67.

四川大学学报（自然科学版）

1991年第3期

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