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搀杂氟对类金刚石薄膜的影响 被引量：3

Influences of Incorporated Fluorine on Diamond-like Film
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摘要 综述了氟化类金刚石薄膜(FDLC)的近期进展,重点介绍搀杂氟对类金刚石薄膜在结构、性能及沉积工艺上所带来的影响。 In this article,the latest development about FDLC is introduced generally.The emphases are laid on the influence of the incorporated fluorine on the structure,properties and depositing process of the DLC-
作者 唐雄心 赵建生
机构地区 华中科技大学材料学院
出处 《材料导报》 EI CAS CSCD 2002年第4期47-49,共3页 Materials Reports
基金 毕中科技大学国家模具技术重点实验室资助项目
关键词 氟 氟化类金刚石薄膜 结构 性能 改性 沉积工艺 fluorine, FDLC
分类号 O484 [理学—固体物理] O613.71 [理学—无机化学]
  • 相关文献

参考文献35

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共引文献26

同被引文献79

引证文献3

二级引证文献22

材料导报
2002年 第4期

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