扩散硅力敏传感器初探
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1袁璟.用于力敏传感器的简易双面光刻装置[J].半导体杂志,1991,16(4):51-52.
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2朱长纯,王海笑.一种新型绝对高真空压力规结构的设计[J].西安交通大学学报,1995,29(1):27-33. 被引量:1
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3袁璟.用于力敏传感器研制的简易双面光刻装置[J].电子器件,1990,13(4):46-47.
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4李昕欣,杨恒,鲍敏杭,沈绍群.硅多层微机械结构无掩模腐蚀新技术及在力敏结构制作中的应用[J].半导体技术,1998,23(3):6-9.
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5陈建群,马以武.基于MSC1210的悬臂梁式厚膜力敏传感器的研制[J].工业仪表与自动化装置,2006(3):66-68.
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6许德华,祝冰,梁癸容.半导体薄膜自身的力敏参数的测量[J].半导体杂志,1995,20(4):33-36.
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7马以武,宋箭,常慧敏.基于压阻效应的厚膜力敏材料及传感器[J].电子元件与材料,1999,18(5):39-41. 被引量:3
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8徐开先.硅基力敏传感器及其工业应用(上)[J].世界仪表与自动化,2009,13(4):18-21.
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9王骐,王佳,王青萍,王怀兴.一种新型节水自动冲厕装置的设计[J].电子设计工程,2012,20(9):141-144. 被引量:1
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10骆飞,毛磊.一种高双折射光纤力敏传感器的研究[J].光仪技术,2000,16(1):27-31. 被引量:1
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