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调Q脉冲CO_2激光切割Si_3N_4工程陶瓷的机理研究 被引量:11

INVESTIGATION OF CUTTING OF Si_3N_4 ENGINEERING CERAMICS WITH Q-SWITCHED PULSE CO_2 LASER
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摘要 采用调Q脉冲CO2激光器对Si3N4工程陶瓷进行了切割试验。在计及切口烧蚀前沿形状和高斯光束空间能量分布的前提下,采用简化的二维模型,针对气化切割过程,在能量平衡基础上,建立了一个脉冲激光切割数学模型。试验结果表明,采用高速多次重复走刀工艺可实现无损伤激光切割。 Cutting of Si3N4 engineering ceramics with Q-switched pulse CO2 laser. Considering the effective shape of the cut front that has influence to the absorption of the laser beam, a mathematics model considering a simplified 2D geometry based on the geometry of a pulsed laser cut during vaporization cutting process is developed. This model is based on the energy balance. The experiment results show that it would realize crack-free cutting by using high speed and multipass cutting.
出处 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期61-65,共5页 Journal of Mechanical Engineering
基金 国家自然科学基金资助项目(59875018)
关键词 调Q脉冲 数学模型 二氧化碳激光器 激光切割 氮化硅 工程陶瓷 Si3N4 Q-switched pulse CO2 laser Cutting Mathematics model
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