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LTCC生瓷印刷填孔工艺研究
被引量:
6
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摘要
为避免挤压填孔工艺在LTCC批量生产时产生一系列不合格问题,改进采用印刷填孔工艺。印刷填孔利用丝网印刷机刮刀的刮印运动,使电子浆料通过填充模板填入生瓷通孔中。通过填充模板设计、印刷方式优化、印刷参数优化及浆料粘度调节等研究工作,确定一组适于印刷式填孔的工艺参数。经试验验证,该填孔方式可提高填孔质量,节约成本,适用于批量生产。
作者
王会
李冉
濮嵩
机构地区
北方通用电子集团有限公司微电子部
出处
《集成电路通讯》
2014年第2期32-37,共6页
关键词
挤压式填孔
印刷式填孔
印刷参数
浆料粘度
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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