宁波材料所在CVD大块单晶金刚石合成技术方面取得进展被引量：1

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摘要中国科学院宁波材料技术与工程研究所“功能碳素材料团队”以实现金刚石精密工具的国产化和产业化为目标，最近在CVD（Chemical—Vapor—Deposition：化学气相沉积）单晶金刚石合成方面取得了突破性进展。团队从国产微波等离子体CVD设备设计改造着手，开发了高密度、高稳定性的金刚石沉积装置。

机构地区宁波材料技术与工程研究所

出处《超硬材料工程》 CAS 2014年第4期61-61,共1页 Superhard Material Engineering

关键词单晶金刚石 CVD设备碳素材料合成技术宁波大块化学气相沉积微波等离子体

分类号 TQ163 [化学工程—高温制品工业]

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