期刊文献+

光学系统中环形光源对半导体成像影响研究

Study on the Influence of Optical System for Semiconductor's Oblique Light Imaging
下载PDF
导出
摘要 以某国产200 mm(8英寸)砂轮划片机光学系统为例,以CCD为检测物并以国外进口同级别设备光学图像为参考标准。通过与进口设备对比,分析环形光源对成像的影响因素,研究应用几何光学原理,实现成像质量的提高。 This paper take the domestic 200 mm (eight inch)dicing saw optical system as an example,take CCD for object detection and take the imported same level equipment optical imaging as thereference standard. By comparison with theimported equipment and analyze the oblique light,research and application of the principle ofimprovement.
出处 《电子工业专用设备》 2015年第9期19-21,52,共4页 Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词 环形光源 划片机 图像 Oblique light Dicing saw Imagegeometrical optics achieve the image quality of
  • 相关文献

参考文献1

  • 1李俊昌,陈仲裕,赵帅,鲍乃铿,钟宝璇.球面参考光数字全息图的频谱分析及应用[A].2005年中国光学学会全息与光学信息处理专业委员会年会暨建会20周年纪念会[C].2005.

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部