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长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展

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摘要近日,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室金春水研究团队在极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究方面取得新进展：通过采用遗传算法,实现了Ф200 mm曲面基底上极紫外多层膜膜厚分布控制精度优于±0.1%,镀膜引起的不可补偿面形误差小于0.1 nm RMS。

机构地区中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

出处《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3556-3556,共1页 Bulletin of the Chinese Ceramic Society

关键词高精度控制应用光学光机所遗传算法控制精度面形误差国家重点实验室分布控制磁控溅射投影物镜

分类号 O484.43 [理学—固体物理]

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硅酸盐通报

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