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铝硅欧姆接触电阻率与预扩散温度的关系 被引量:1

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摘要 本文给出了欧姆接触的评价方法且实验得到了低欧姆接触电阻率的样品,随着预扩散温度的从1100℃变化到1150℃,欧姆接触电阻率从7.8×10^(-6)Ω·cm2,5.5×10^(-6)Ω·cm2,1.3×10^(-6)Ω·cm2依次降低。
作者 陈树华
出处 《电子世界》 2016年第5期97-98,共2页 Electronics World
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