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四元阵型MEMS矢量水听器微结构设计 被引量:1

Design of Four-Element Array MEMS Vector Hydrophone
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摘要 针对当前的MEMS矢量水听器存在左右舷模糊问题,提出了一种四元阵型MEMS矢量水听器微结构。首先,从理论上分析了当前的MEMS矢量水听器左右舷模糊问题,从而提出了可消除左右舷模糊的四元阵型MEMS矢量水听器微结构。其次,对四元阵型MEMS矢量水听器微结构进行有限元仿真,声源方向可以通过分析各阵元应力分布情况而唯一确定。最后,通过驻波声场试验验证其可行性,结果表明,该微结构可实现左右舷分辨,有效消除左右舷模糊。 To solve the existence problem of port/starboard blur when using single MEMS vector hydrophone,a newfour-element array MEMS vector hydrophone microstructure has been presented. Firstly,the cause of port/starboardblur of the current MEMS vector hydrophone was analyzed theoretically and a novel four-element array microstruc-ture was proposed,which can solve the problem of port/starboard blur. Secondly,the function of novel microstruc-ture was verified through finite element method,which shown that the direction of sound source could be ascer-tained accurately. Finally,environmental test wasdone using the standing wave tube,and the results show that thefour-element array microstructure can help to deal with the challenging of port/starboard blur.
出处 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期171-176,共6页 Chinese Journal of Sensors and Actuators
基金 应用于海底长期观测网的纳机电矢量水听器项目(2013AA09A412) 基于纳机电矢量水听器面阵的水下目标成像机理技术研究项目(61127008/F040703)
关键词 MEMS 左右舷模糊 ANSYS 矢量水听器 MEMS port/starboard blur Ansys vector hydrophone
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参考文献13

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