浅谈SILVACO TCAD在VDMOS功率器件设计中的应用

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摘要 SILVACO TCAD是一款半导体工艺和器件仿真的专用软件,具有良好的界面,精确的模型设计被广泛应用。本文利用SILVACO TCAD软件对VDMOS功率器件的工艺和器件参数进行仿真,根据仿真过程及结果,提出了该仿真软件应用过程应该注意的一些问题。

作者张海磊陆建恩严古响徐成保孟欢

机构地区江苏信息职业技术学院

出处《电子技术与软件工程》 2016年第9期92-93,共2页 ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING

关键词 SILVACO 半导体工艺器件仿真 VDMOS

参考文献2

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电子技术与软件工程

2016年第9期

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