摘要
设计了一种新型的微腔加速度光纤传感器,采用了Si基底上设计一圆柱形MIM波导的结构,通过检测光纤单直波导输出端口处波长的漂移量,实现对加速度的检测。理论计算和仿真结果验证得到:在加速度每增加10g的情况下,输出光谱图约向右漂移3nm,加速度与谐振波长漂移量基本呈线性关系;微纳光纤传感器的灵敏度较高,能够实现较好的加速度传感器。
The paper designs a new type of optical microcavity acceleration sensors, the Si substrate design a cylindrical MIM waveguide structure, and the basal connected with single straight micro-nano optical fiber waveguide. Every increase of 10g acceleration, and the output spectra drift to the right about 3nm, accelera- tion and resonant wavelength drift quantity basic linear relationship, Micro-nano optical fiber sensor sensitivi- ty is higher, it can achieve better acceleration sensor.
出处
《光通信技术》
北大核心
2016年第6期47-49,共3页
Optical Communication Technology
基金
国家自然科学基金(61379026)资助
陕西省科学技术研究发展计划项目(工业攻关)(2014K05-61)资助
陕西省教育厅2011年科学研究项目计划(11JK0915)资助
陕西省高水平大学建设专项资金资助项目(物理学2012SXTS05)资助
延安大学大学物理实验精品课程(YDJPKC11-21)资助
关键词
微电子机械系统
传感器
MIM波导
微纳光纤
microelectronics mechanical systems, sensor, MIM waveguide, Micro-nano optical fiber
