低温挥发-电感耦合等离子质谱法测定高纯三氯氢硅中十三种杂质

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摘要阐述了测定高纯三氯氢硅中十三种杂质的方法,操作过程简单、快速、高效,准确度较高,能很好地满足对高纯三氯氢硅中杂质的质量控制要求。

作者刘英杰李沅庭郑华荣

机构地区江苏华测品标检测认证技术有限公司南京中锗科技有限责任公司

出处《现代冶金》 CAS 2017年第3期14-16,共3页 Modern Metallurgy

关键词电感耦合等离子质谱法低温挥发碰撞反应池高纯三氯氢硅

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