荷兰特温特大开发出与CMOS技术兼容的纯硅光源

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摘要对于硅光子而言，硅基全光集成电路需要光源。目前，混合光源可选用III—V半导体作为光源，但是将III—V半导体光源与硅基电路集成需要复杂的键合工艺、或生长工艺。当前研究人员还开展硅一锗片上光源的研究，通过对锗进行应力一应变工程调控，使其辐射出激光。

出处《新材料产业》 2017年第12期69-70,共2页 Advanced Materials Industry

关键词半导体光源 CMOS技术纯硅兼容开发荷兰光集成电路键合工艺

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新材料产业

2017年第12期

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