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湿法刻蚀工艺对单晶N型太阳电池的影响

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摘要 基于N型单晶硅片,实验研究了不同湿法刻蚀工艺流程对太阳电池生产中参数影响。利用SEM、反射率测试仪和Halm测试系统对湿法刻蚀后硅片表面的微观形貌、反射率的差异进行了测试和表征。结果表明,在湿法刻蚀工艺前进行HF药液腐蚀处理可以降低太阳电池的反向漏电流,提高产品的合格率。
出处 《电子技术与软件工程》 2018年第5期114-114,共1页 ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING
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