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动态相对法真空标准装置简介

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摘要 动态相对法真空标准装置(如图所示)为沈阳真空技术研究所、国家真空设备质量监督检验中心研制,主要技术指标均达到国内先进水平,并通过了中国计量科学研究院考核,具有校准范围宽,气体动平衡稳定性好等特点。主要用途:用于企业、计量部门的各类真空计校准。
出处 《真空》 CAS 2018年第4期20-20,共1页 Vacuum
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