关于光切显微镜的定度被引量：1

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摘要光切显微镜以光切原理为基础 ,能解决工件表面微小峰谷深度的测量问题 ,是测量表面粗糙度的专用仪器之一。光切显微镜一般测量RZ值大于 0 .8μm的工件。本文主要解决在使用光切显微镜时。

作者钱关名

机构地区嘉兴市计量检定测试所长度室

出处《计量与测试技术》 2002年第5期11-11,共1页 Metrology & Measurement Technique

关键词光切显微镜表面粗糙度定度 C值格值 RZ值工件检测

分类号 TH742 [机械工程—光学工程] TG84 [金属学及工艺—公差测量技术]

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