摘要
回顾了氧化物薄膜晶体管的优势及其发展应用,介绍氧化物墨水的类型选择、喷墨打印制备过程、薄膜图案退火等工艺过程,以及相关工艺国内外研究情况。总结了喷墨打印技术制备薄膜晶体管工艺的优势。
The features,development and application of oxide thin film transistors are reviewed first. Then we introduce selection of oxide ink type,preparation process of ink-jet printing,film pattern annealing and other processes,and summarize the advantages of the preparation process of thin film transistors by ink-jet printing technology.
作者
杨小天
王冠达
史恺
李旭
YANG Xiaotian;WANG Guanda *;SHI Kai;LI Xu(College of Electricity and Computer,Jilin Jianzhu University,Changchun 130118,China)
出处
《长春工业大学学报》
CAS
2019年第3期306-312,共7页
Journal of Changchun University of Technology
基金
吉林省教育厅“十三五”科学技术项目(JJKH20180589KJ)
