摘要
1 引言正如人们所知,第一次引用“真空微电子学”这个术语是在1988年VA威廉斯堡召开的第一届国际会议上。它被定义为与电子在真空中输运的各种器件有关的一种新技术,而且随着固体器件工业的发展,还采用了现代微细加工技术。由于真空是一种理想的电子输运媒质,所以,这种技术兼有上述两类器件的优点。我们有些人认为,它将使器件迅速发生变革。在东(独联体)、西方世界积极努力了两年后的今天,我们对这项技术的进展和未来展望持什么态度呢?当然,每个人都有权决定自己的看法,但我是持乐观态度的,而且我坚信我的看法是正确的。更严格地说。
出处
《半导体情报》
1992年第4期1-8,共8页
Semiconductor Information
