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多晶硅成品检测实验室样品双面抛光技术改进
被引量:
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摘要
对两种抛光方法的原理及效果等特点进行了分析比较,指出了多晶硅成品检测实验室采用物理抛光方法能在效果和成本方面达到最佳。并对物理抛光方法进行了改进。
作者
秦改萍
朱慧芳
机构地区
山西潞安高纯硅业科技有限公司
出处
《化工管理》
2014年第3期86-86,共1页
Chemical Engineering Management
关键词
多晶硅
成品检测
抛光技术
分类号
TG580.692 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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化工管理
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