多晶硅产品中碳含量影响因素分析及控制被引量：2

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摘要随着科技的进步,对硅器件的品质提出更高的要求,但由于碳杂质的存在,严重制约着其稳定性和使用寿命的提高。文章对多晶硅碳含量和回收氢气中甲烷含量、三氯氢硅中甲基二氯硅烷等相关性进行分析,结果表明:多晶硅碳含量主要受氢气中甲烷含量影响,而三氯氢硅中甲基二氯硅烷对多晶硅碳含量影响不大,实际生产中应将回收氢中甲烷含量控制在5ppmv以下。

作者童孟

机构地区陕西煤田地质化验测试有限公司

出处《化工管理》 2020年第2期31-32,共2页 Chemical Engineering Management

关键词多晶硅碳甲烷甲基二氯硅烷相关性

分类号 TQ127.2 [化学工程—无机化工]

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