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LTCC基板热切尺寸一致性提升研究 被引量:1

Research on Thermal Cutting Accurately Technology of LTCC
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摘要 针对热切时生瓷坯块腔体塌陷、外形尺寸偏大、一致性差的问题展开研究,发现采用聚酯胶板粘附可以解决腔体塌陷问题。通过分析影响尺寸变化的多种因素,确定生瓷坯块边缘的不规则余量以及刀具温度的变化过程造成的刀具变形是切割时尺寸精度及一致性差的主要原因。通过控制刀体温度变化过程,增加粗切步骤改善阶梯型边缘余量,能够将21层、37 mm×37 mm的产品尺寸一致性控制在±100μm以内。 Experimental study of cavity collapse,bigger size and bad consistency.Experimental results show that the thermal release polyester panel can solve the cavity collapse.By analyzing the causes of the changing size,the irregular margin and the process of temperature change are the main reason.So control the process of the blade temperature change and add roughing step can meet the cutting precision.
作者 张艳辉 杨兴宇 钱超 ZHANG Yanhui;YANG Xingyu;QIAN Chao(The 2nd Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation,Taiyuan 030000,China)
出处 《电子与封装》 2020年第6期13-16,共4页 Electronics & Packaging
关键词 热切 腔体塌陷 聚酯胶板 粗切 刀体温度变化 thermal cutting cavity collapse polyester panel roughing blade temperature change
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