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5nm工艺起飞ASML宣布全新半导体技术:产能大涨600%

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摘要 提到荷兰ASML公司,大家都知道他们是全球唯一的EUV光刻机供应商,7nm及以下的工艺生产都要靠他们的设备。不过ASML不只是光刻机厉害,今天他们宣布了另外一个新产品——第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000,适用于5nm及更先进工艺,使得产能大涨600%。
出处 《半导体信息》 2020年第3期27-28,共2页 Semiconductor Information
关键词 半导体技术 光刻机 HMI 检测机 EUV光刻 多光束 供应商 先进工艺
分类号 TN3 [电子电信—物理电子学]
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半导体信息
2020年 第3期

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