我国电子级多晶硅发展情况分析被引量：5

下载PDF

导出

摘要电子级多晶硅是制造半导体硅片最基础和最主要的原材料之一,被称为电子信息产业的"粮食",其纯度需达到11N,如此高的纯度对制备技术、检测技术和质量管理都提出了极高的要求。长期以来,电子级多晶硅的制备技术被美、德、日等西方国家封锁,因而我国使用的电子级多晶硅几乎完全依赖进口,存在被"卡脖子"的风险。

作者江华

机构地区赛迪智库集成电路研究所

出处《科技中国》 2021年第4期64-66,共3页 China Scitechnology Think Tank

关键词电子信息产业技术和质量完全依赖制备技术原材料

分类号 TN304.12 [电子电信—物理电子学]

引文网络
相关文献

同被引文献43

1宁平,易红宏,余琼粉,唐晓龙,杨丽萍,叶智青.Effect of zinc and cerium addition on property of copper-based adsorbents for phosphine adsorption[J].Journal of Rare Earths,2010,28(4):581-586. 被引量：6
2杨丽萍,易红宏,唐晓龙,宁平,余琼粉,叶智青.Effect of rare earth addition on Cu-Fe/AC adsorbents for phosphine adsorption from yellow phosphorous tail gas[J].Journal of Rare Earths,2010,28(S1):322-325. 被引量：5
3潘绍忠.高纯氢氟酸的研究[J].有机氟工业,2009(2):45-47. 被引量：6
4黄小凤,谭娟,宁平.改性5A分子筛吸附净化PH_3的实验研究[J].西安建筑科技大学学报（自然科学版）,2011,43(2):220-223. 被引量：3
5刘飞,邱祖军,尹峰,蒋月明.电子级氢氟酸的纯化技术及其发展现状[J].硫磷设计与粉体工程,2012(1):44-48. 被引量：11
6王晓英,王宇光,谷新春,刘颖.多晶硅制备工艺及发展趋势[J].化工进展,2013,32(6):1336-1340. 被引量：13
7张穗忠,李杰.电感耦合等离子体原子发射光谱法测量萤石中硫含量[J].武汉工程职业技术学院学报,2013,25(4):1-3. 被引量：9
8胥五一,危胜.电子级多晶硅生产技术探讨[J].广州化工,2014,42(7):20-22. 被引量：6
9张海波.氟材料行业分析[J].新材料产业,2002(4):25-27. 被引量：11
10张茜,任其龙,杨亦文,邢华斌,苏宝根,鲍宗必.硼吸附材料及其性能[J].化学进展,2015,27(1):125-134. 被引量：13

引证文献5

1马亚苹.电子级多晶硅生产技术分析[J].中国粉体工业,2022(3):11-13.
2朱博超,章志成.电子级氢氟酸研究进展[J].辽宁化工,2023,52(8):1217-1219.
3闫可欣,姜洪涛,高维群,郭晓晖,孙伟振,赵玲.电子级多晶硅原料中痕量硼磷杂质的脱除研究进展[J].化工学报,2024,75(1):83-94. 被引量：1
4董丰琦,危胜.电子级多晶硅制备过程中的质量影响因素研究[J].产业创新研究,2024(14):96-98. 被引量：1
5宋维东.电子级多晶硅生产技术及发展现状[J].中国粉体工业,2024(5):18-20.

二级引证文献2

1高文芳,崔晗,孙一冉,彭佳晴,朱睿,夏然,张馨予,李佳奇,王学良,孙峙,吕龙义.典型金属生产过程的环境影响评价研究进展[J].化工学报,2024,75(9):3056-3073.
2宋维东.电子级多晶硅生产技术及发展现状[J].中国粉体工业,2024(5):18-20.

1孙静.焊接自动化技术发展情况分析[J].科学咨询,2021(14):68-69. 被引量：2
2马云燕,李洪良,王志远,封玉,王红艾.地方高校教育国际化发展策略[J].文教资料,2021(2):137-138. 被引量：1
3杨伟杰,程磊,庞英娜,杨榕.SpaceX公司发展情况分析[J].国际太空,2021(3):39-45. 被引量：2
4王贵彪,李国强,张海波,崔雪亮.基于标准船型评价指标的近海渔船船型发展分析[J].渔业现代化,2021,48(2):40-44. 被引量：1

科技中国

2021年第4期

浏览历史

内容加载中请稍等...

我国电子级多晶硅发展情况分析被引量：5

同被引文献43

引证文献5

二级引证文献2

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

我国电子级多晶硅发展情况分析 被引量：5

同被引文献43

引证文献5

二级引证文献2

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

我国电子级多晶硅发展情况分析被引量：5