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基于微纳米定位的电磁驱动控制系统设计与分析 被引量:1

Design and analysis of electromagnetic driver control system based on micro nano positioning
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摘要 针对大行程电磁驱动微纳米定位技术控制精度较低的问题,根据电磁驱动装置的工作原理,提出优化PID的控制方案,并在Matlab软件中搭建控制系统的Simulink模型.相较传统PID控制,对前馈PID和模糊PID算法的改进效果进行研究,得出前馈PID拥有较好的动、静态控制性能,模糊PID鲁棒性较佳的结论. Aiming at the problem of low control precision of large stroke electromagnetic drive micro-nano positioning technology, an optimized PID control scheme was proposed. According to the working principle of the electromagnetic drive device, the Simulink model of control system was established and built in Matlab software. Comparing with traditional PID control, the improvement effects of feedforward PID and fuzzy PID algorithm were studied. It is concluded that feedforward PID has better dynamic and static control performance, and fuzzy PID has better robustness.
作者 史琦婧 朱姿娜 李培兴 吴迪 SHI Qijing;ZHU Zina;LI Peixing;WU Di(School of Mechanical and Automotive Engineering,Shanghai University of Engineering Science,Shanghai 201620,China)
出处 《上海工程技术大学学报》 CAS 2021年第2期150-157,共8页 Journal of Shanghai University of Engineering Science
基金 国家自然科学基金资助项目(51775165) 上海工程技术大学研究生科研创新资助项目(20KY0106)。
关键词 电磁驱动 纳米定位 前馈控制 模糊控制 electromagnetic drive nano positioning feedforward control fuzzy control
  • 相关文献

参考文献3

二级参考文献12

  • 1土谷武士 江上正.最新自动控制技术——数字预见控制[M].北京:科学技术出版社,1994..
  • 2Ho Seong Lee, Masayoshi, Tomizuka. Roubus Motion Controller Design for High Accuracy Positioning Systems[ J ]. IEEE Transactions on Mechatronies, 1996,43( 1 ) :48-55.
  • 3HSIEH C, PAN Y C. Dynamic behavior and modeling of the pre-sliding static friction[J]. Wear, 2000, 242(1):1-17.
  • 4CHEN C L, JANG M J, LIN K C. Modeling and high precision control of a ball-screw-driven stage[J]. Precision Eng., 2004, 28:483-495.
  • 5CHEN J S, CHEN K C, LAI Z C, et al.. Friction characterization and compensation of a linear-motor rolling-guide stage[J]. Intern. J. Mach. Tools Manuf., 2003, 43(9): 905-915.
  • 6MAO J H, TACHIKAWA H, SHIMOKOHBE A. Precision positioning of a DC-motor-driven aerostatic slide system[J]. Precision Eng. , 2003, 27(1):82-41.
  • 7尹君驰,刘克毅.基于MATLAB的PID控制系统参数调节[J].电子测试,2014,25(3):61-63. 被引量:7
  • 8郑子文,李圣怡.滚珠丝杠传动机构的微动特性及轨迹跟踪控制[J].光学精密工程,2001,9(4):360-363. 被引量:6
  • 9张婧,盖文东,徐文尚,陈志巧.基于Matlab的PID控制器参数整定方法[J].实验科学与技术,2016,14(4):37-40. 被引量:18
  • 10陈涛,陈娟,蒋风华.伺服系统两种低速非线性补偿方法的对比实验[J].光学精密工程,2003,11(1):94-97. 被引量:10

共引文献19

同被引文献16

引证文献1

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