转角模块对晶圆划切质量的影响因素研究

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摘要本文主要研究砂轮划片机在切割晶圆的过程中,转角模块的各个参数对晶圆磨削切口质量的影响,通过实验对其进行了系统的工艺分析,并给出了砂轮划片机转角模块对晶圆划切工艺的调整改进方案。结构方面根据原来的转角模块存在的不足进行了改进,改进后的转角模块结构使调节吸盘上表面水平更加方便,砂轮片切割晶圆效果更加精准,减小了划切晶圆的缺陷率。

作者李超潘继先韩华超蒋兴桥李东旭陈立新

机构地区沈阳仪表科学研究院有限公司

出处《中国设备工程》 2022年第11期88-89,共2页 China Plant Engineering

关键词转角模块划切工艺划切参数

分类号 TH122 [机械工程—机械设计及理论]

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