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亚稳态氪原子束流诊断系统结构设计与优化

Design and Optimization of Metastable Krypton Beam Diagnostic System in Structure
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摘要 亚稳态氪原子具有较高的内能,在金属表面碰撞时会激发产生电子,利用电子透镜对退激发电子进行成像与检测,即可实现亚稳态氪原子束流强度以及空间分布的表征。基于该原理设计了一种亚稳态氪原子束流成像系统,采用有限元分析方法研究了电极间距、厚度与电势对退激发电子束流运动的影响规律。结果表明:成像弥散随着电子透镜聚焦能力的提升而减小。其亚稳态氪原子束流各物点成像误差在2 mm以内,成像大小为16.5 mm,平均误差为3.71%,最大误差为9.38%。 The metastable krypton atoms have high internal energy,and they will be de-excited to produce electrons when they collide with the metal surface.The electron lens is used to image and detect the de-excited electrons to realize the characterization of the intensity and spatial distribution of the metastable krypton atom beam.Based on this principle,a metastable krypton atom beam imaging system is designed,and the finite element analysis method is used to study the influence of electrode spacing,thickness and electric potential on the movement of the de-excited electron beam.The results show that the imaging dispersion decreases with the improvement of the focusing ability of the electronic lens.The imaging error of each object point of the metastable krypton beam is below 2 mm,the imaging size is 16.5 mm,the average error is 3.71%,and the maximum error is 9.38%.
作者 张佳乐 冯高平 宋俊玲 饶伟 朱潇潇 梁健玮 金星 ZHANG Jia-le;FENG Gao-ping;SONG Jun-ling;RAO Wei;ZHU Xiao-xiao;LIANG Jian-wei;JIN Xing(State Key Laboratory of Laser Propulsion&Application,Space Engineering University,Beijing,101400,China)
出处 《计量学报》 CSCD 北大核心 2022年第5期682-687,共6页 Acta Metrologica Sinica
基金 国家自然科学基金青年科学基金项目(11804391)。
关键词 计量学 原子阱痕量检测 亚稳态氪 原子束流 电子透镜 metrology atomic trap trace analysis metastable krypton atomic beam electronic lens
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