摘要
本文设计了一种负电子亲和势Ga N基光电阴极量子级联结构的紫外-红外双色集成探测器模型,通过Nextnano与Silvaco TCAD软件研究光电阴极的量子级联层周期数、势阱层厚度、传输层Al组分、光照角度以及光进入阴极方向等。优化后的仿真结果表明:量子级联层10~20周期,p-GaN势阱层厚度为2nm,传输层Al组分为0.4,红外波段光照角度范围为120°~130°时器件探测性能好。紫外波段响应峰值波长300nm,响应度约为52.97mA/w;红外波段响应峰值波长在1.4μm~1.6μm之间,响应度约为3.92~3.96mA/w。同时仿真显示该光电阴极反射式性能优于透射式。
出处
《电子技术与软件工程》
2022年第24期136-141,共6页
ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING