摘要
北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m^(2),是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力传感器及石英角速率传感器两条批量产品生产线。经过多年来的发展,还建立了碳化硅高温压力传感器、谐振式高精度压力传感器、石英振梁加速度传感器、硅微压力传感器、射频微同轴MEMS器件等先进产品研试线。依托航天型号任务、预先研究课题、自主开发项目等,中心积累了丰富的MEMS微纳工艺经验,形成了专业化的技术平台。
出处
《遥测遥控》
2023年第2期F0003-F0003,共1页
Journal of Telemetry,Tracking and Command
