旗形光学面形仪

Flag-type Optical Surface Profiler FSP-01s

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摘要主要技术与性能指标,测量口径:1000 mm,测量重复精度:17 nrad,平面测量精度:25 nrad,曲面测量精度:32 nrad,平曲面第三方比对测量精度:0.1 nm主要应用,用于大尺寸光学表面面形的超高精度测量,代表性应用成果,解决了高能同步辐射光源建设中对超高精度光学检测的核心技术问题。

出处《中国科学院院刊》 CSSCI CSCD 北大核心 2023年第S01期16-16,共1页 Bulletin of Chinese Academy of Sciences

关键词重复精度光学检测曲面测量比对测量同步辐射光源核心技术问题超高精度表面面形

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学]

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