一种数字光刻系统软硬件控制方案设计

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摘要分析了数字光刻系统的控制需求,设计了一套适用于基于DMD(Digital Micromirror Device,数字微镜器件)的数字光刻系统的软硬件控制方案。该控制方案分为上位机和下位机2个部分。上位机为PC机,提供人机交互界面;下位机为树莓派,负责控制光刻系统中的DMD、光源、电控位移台等硬件。上位机和下位机使用TCP协议通信,并且软件部分统一使用图形用户界面应用程序开发框架Qt来开发,使光刻操作人员可以在上位机上完成对所有器件的控制。

作者王岩磊

机构地区南昌航空大学测试与光电工程学院

出处《科技与创新》 2024年第2期178-180,共3页 Science and Technology & Innovation

关键词数字光刻 DMD QT TCP

分类号 G03 [文化科学] F7 [经济管理—产业经济] F20 [经济管理—国民经济]

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