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多晶硅铸锭用坩埚喷涂工艺研究
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摘要
坩埚喷涂是多晶硅铸锭生产过程中重要的工序,直接影响到多晶硅锭的产品质量。介绍多晶硅铸锭的方法及工艺原理,着重分析坩埚对多晶硅锭的影响,并对坩埚喷涂工艺进行研究和分析,有利于提高多晶硅锭的生产效率和产品质量。
作者
胡小冬
崔明现
姜希猛
贾曦
机构地区
乐山职业技术学院
乐山太阳能研究院
出处
《轻工科技》
2016年第12期34-35,66,共3页
Light Industry Science and Technology
基金
乐山市科技局重点研究计划"多晶硅铸锭炉热场研究"
项目编号:14GZD158
关键词
多晶硅
喷涂装置
喷涂工艺
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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轻工科技
2016年 第12期
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