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AlN压电薄膜材料研究进展 被引量：3

The Research Progress of AlN Piezoelectric Thin Films
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摘要 AlN压电薄膜材料具有许多优异的物理化学性质,本文对该薄膜材料的发展,结构特征,制备方法进行了综述,并对其应用前景进行了展望。 AlN piezoelectric film has a lot of excellent physical chemistry properties. This discussion focus, on the structural characters, prepared methods and applied prospect of AlN piezoelectric films.
作者 许小红 武海顺 张富强 段静芳 李佐宜
机构地区 华中科技大学 山西师范大学
出处 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期456-459,共4页 Rare Metal Materials and Engineering
基金 教育部骨干教师资助计划项目 山西省青年科技研究基金(20011011)联合资助
关键词 研究进展 AlN压电薄膜 结构 制备 AlN piezoelectric film structure preparation application
分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
  • 相关文献

参考文献4

二级参考文献17

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共引文献47

同被引文献21

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引证文献3

二级引证文献2

稀有金属材料与工程
2002年 第6期

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