用致密化的等离子聚焦装置室温沉积碳化钛薄膜
出处
《热处理》
CAS
2002年第4期38-38,共1页
Heat Treatment
-
1RawatRS,彭补之.用致密化的等离子聚焦装置室温沉积碳化钛薄膜[J].材料保护,2002,35(7):68-68.
-
2生成碳化钛薄膜的新技术[J].有色冶金节能,2003,20(2):37-37.
-
3零件表面生成碳化钛薄膜新技术[J].现代制造,2004(8):48-48.
-
4刘洪喜,汤宝寅,王小峰,王浪平,于永泊告,王宇航,孙韬.等离子体浸没离子注入与沉积合成碳化钛薄膜的摩擦磨损性能研究[J].摩擦学学报,2004,24(6):493-497. 被引量：1
-
5李兵.用混合的碳和钛等离子体流沉积碳化钛薄膜[J].等离子体应用技术快报,1998(5):8-9.
-
6李戈扬,王公耀,吴亮,李鹏兴,张流强,郑永铭.双靶反应溅射Ti-B-N复合膜的研制[J].上海交通大学学报,1997,31(4):108-113. 被引量：9
-
7林晓娉,何丽静,张建军,王晓东,王铁宝.离子束沉积Al_2O_3纳米薄膜微观结构及形貌研究[J].材料热处理学报,2009,30(1):166-169. 被引量：1
-
8汤育欣,陶杰,张焱焱,吴涛,陶海军,包祖国.导电玻璃上室温沉积钛膜及TiO_2纳米管阵列的制备与表征[J].物理化学学报,2008,24(12):2191-2197. 被引量：9
-
9陆宗仪,李文梅,安世民,郭宝海,夏元良,徐军,梅雨.一种新型的激光——等离子体辅助化学气相沉积装置的研究[J].材料科学与工艺,1997,5(1):90-94. 被引量：3
;
