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洁净室技术应用中当前的几个热点问题 被引量：14

Some concerned points of application of cleanroom technology
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摘要 对当前较被关心的问题,如洁净室的气流速度的确定,FFU系统的应用及悬浮分子污染控制,进行情况归纳和分析。 Some viewpoints on concerned cleanroom airflow velocity/Air exchange rate, FFU system and airborne molecular contamination are summarized and analyzed.
作者 严德隆
出处 《洁净与空调技术》 2002年第4期3-6,14,共5页 Contamination Control & Air-Conditioning Technology
关键词 洁净室 气流速度 换气次数 过滤器 悬浮分子 污染 Airflow-velocity Air exchange rate Filter coverage rate FFU AMC
分类号 TU831 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
  • 相关文献

参考文献11

  • 1Mike Fitzpatric and Ken Golostein, Ph. D., "Cleanroom airflows PartⅡ "Cleanrooms, July. 2002
  • 2Rajan Jaisingbani Cleanoom airflow Design, A2 C2, Dec.2001
  • 3严德隆.洁净厂房空气循环系统形式的合理选择[J].洁净与空调技术,2001(3):2-4. 被引量：6
  • 4Richard V. Grout, "Air management techniques can reduce cost and optimize Fab. Performance" Cleanrooms, March,2001
  • 5Scott Moore "Smart F F Us", A2C2, 2002
  • 6Sheila Galatowith, "Media goes molecular", Cleanrooms Jan.2002
  • 7Scott Moore, "Chemical Filtration and the Sheeding Factor", A2C2, Apr. 2001
  • 8Chris Anderson, "What to do about AMC", Cleanrooms,Apr. 2001
  • 9Chris Anderson, "Targeting AMC", Cleanrooms, Aug.2001
  • 10David Jensen, William Fosnight, "Defect Prevention and Elimination",MICRQ, Oct. 1998

二级参考文献3

  • 1[1]Sheila Galatowitscb When FFu are the right call CLEANROOMS vol. 15,No.l,Jan 2001
  • 2[2]Richard V.Grout Air management techniques canreduce costs optimize fab performance CLEANROOMS vol. 15, No.3,March 2001
  • 3[3]W.Whyte Cleanroom design John Wiley & Sonsd Ltd 1999

共引文献5

同被引文献50

引证文献14

二级引证文献51

洁净与空调技术
2002年 第4期

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