光学光刻在军事微电子器件制造中的作用和地位

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摘要光学微细加工技术或称光学技术,是促成集成电路微电子器件的诞生与不断进步的主要微细加工手段。无论是过去还是现在,国外始终都对光学光刻技术设备的发展寄予极大希望与重视,而且在当前通用和军用微电子器件研制、生产中。

作者刘恩荣

机构地区机电部第四十五研究所

出处《电子工业专用设备》 1992年第3期8-12,共5页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词微电子技术光刻微电子器件军事

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电子工业专用设备

1992年第3期

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