气敏元件的结构工艺研究

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摘要对几种工艺结构的氧化物半导体气敏元件进行对比,阐述了气敏元件的结构和工艺对气敏元件性能参数的影响。并介绍一种新型结构的氧化物半导体气敏元件。

作者王爱科

机构地区丹东调谐器总厂

出处《电子工艺技术》 1992年第2期5-7,共3页 Electronics Process Technology

关键词气敏元件结构工艺半导体器件

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电子工艺技术

1992年第2期

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