纳米定位系统
出处
《光机电信息》
2003年第3期43-43,共1页
OME Information
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1王建林,周秀珍.压电驱动三维纳米定位系统的研究[J].压电与声光,2001,23(6):439-442. 被引量：7
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2彭汉立.ICS-20A电子皮带称称重系统[J].电工技术,2003(3):62-62.
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3欧阳航空,陆林海,侯彦丽.精密定位平台的系统误差分析及螺距误差补偿方法的实现[J].机电工程,2005,22(1):22-26. 被引量：16
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4王雷,张聪.基于小波分析的纳米运动平台振动研究[J].浙江国际海运职业技术学院学报,2010(1):1-4.
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5孙鑫,程传东,胡志强,张波.基于压电陶瓷管扫描器的大范围纳米定位系统[J].仪表技术,2009(4):39-41. 被引量：4
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6林杰俊,李东升,沈小燕.二维微动工作台的定位误差补偿实验[J].机床与液压,2013,41(21):19-22. 被引量：1
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7刘红忠,赵万华,李涤尘,卢秉恒.多坐标激光干涉仪用于纳米定位系统中的研究[J].光子学报,2002,31(5):592-595. 被引量：3
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8李鸣鸣,欧阳航空,龚振邦,孙麟治.精密直线运动平台的振动测试与分析[J].纳米技术与精密工程,2006,4(2):92-97.
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9许素安,Luc Chassagne,Suat Topcu,Yasser Alayli,李东升.偏振激光干涉仪的纳米定位系统[J].中国计量学院学报,2009,20(2):118-121. 被引量：1
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10Luc Chassagne,SuatTopcu,YasserAlayli,许素安（翻译整理）.高频锁相激光干涉仪技术纳米定位系统[J].中国计量学院学报,2006,17(2):91-94. 被引量：3
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