T330扫描电镜真空系统维护与故障排除被引量：7

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摘要简单介绍T330扫描电镜真空系统的结构和日常维护。通过二例故障的分析,说明故障处理的方法。

作者蔡炳华闭志强

机构地区广西农业科学院中心实验室

出处《仪器仪表用户》 2003年第5期65-65,共1页 Instrumentation

关键词扫描电镜真空系统维护故障排除结构故障分析旋转泵扩散泵

参考文献1

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仪器仪表用户

2003年第5期

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