摘要
详细讨论了SiGeHBT的直流交流特性、噪声特性,SiGeHBT的结构、制作工艺、与工艺相关的寄生效应、SOI衬底上的SiGeHBT等,以及它在高速电路中的应用,包括低噪声放大器(LNA)、功率放大器(PA),电压控制振荡器(VCO)以及涉及到的无源器件等。
The combination of SiGe HBTs with advanced Si CMOS to form an SiGe BiCMOS technology represents a unique opportunity for Si-based RF system-on-chip solutions.SiGe HBT technology is reviewed and its application for RF systems is also discussed.
出处
《微纳电子技术》
CAS
2003年第10期5-14,共10页
Micronanoelectronic Technology