摘要
实验研究了飞秒激光脉冲诱导熔融石英的非线性吸收特性 ,利用激光诱导自由电子等离子体浓度取决于多光子吸收系数和入射光强的关系 ;数值模拟了激光诱导折射率变化区域的大小 ,结合非线性吸收机理和飞秒激光脉冲与介质的相互作用 ,解释了飞秒激光脉冲超精细加工不受衍射极限的约束 ,可实现纳米级加工的机理 结果表明 ,电介质的电离能越大 ,飞秒脉冲诱导的折射率变化区域就越小 ,但要求的激光脉冲能量也越大 ;
The nonlinear absorption of fused silica induced by femtosecond laser pulses is investigated experimentally. Based on the relation between refractive index changes with plasma density,the configuration of refractive index changes is simulated analytically.And suggesting that micro fabrication using femtosecond laser pulses can break down Rayleigh limit, and realize nanometer order material processing.
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第11期1281-1285,共5页
Acta Photonica Sinica
基金
国家自然科学基金 (批准号 :No .6 0 0 780 0 4 )
国家 86 3青年科学基金 (No .青 2 0 0 0 1 0 )
瞬态技术国家重点实验室主任基金资助项目
关键词
非线性吸收
飞秒激光脉冲
熔融石英
折射率
Nonlinear absorption
Femtosecond laser pulse
Fused silica
Refractive index