多功能组合光学镀膜机

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摘要西安工业大学将脉冲电弧离子束镀膜技术、非平衡磁控溅射镀膜技术和电子束热蒸发镀膜技术根据薄膜种类进行组合使用,研制出了一种多功能组合光学镀膜机,成功实现了各种光学薄膜、光电功能多层薄膜以及光电微系统的制备。该光学镀膜机具备镀膜时被镀件始终保持在真空状态,蒸发源实时快速转换的优点,可实现所有的功能加工在一台设备内完成,有效地避免了采用不同方法制造薄膜器件时,薄膜界面之间由外界污染造成的影响。

作者张立新

出处《西安工业大学学报》 CAS 2016年第2期154-154,共1页 Journal of Xi’an Technological University

关键词镀膜机光学薄膜镀膜技术离子束镀脉冲电弧非平衡磁控溅射热蒸发微系统多层薄膜薄膜器件

分类号 TB43 [一般工业技术]

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