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基体随炉氮化提高PCVD TiN结合强度

Improvement of TiN Bonding Strength by Pre-nitriding
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摘要 本文用对滚实验方法,评定了基体与膜的动态结合强度。镀膜滚轮经过5×106周次循环之后,膜的剥落面积小于5%时的最大接触应力定义为膜基界面疲劳强度σc。钢基体经过喷砂处理后,PCVDTiN膜的结合强度有很大提高。如果工件的光洁度要求较高不能喷砂处理时,表面预氮化能够达到与喷砂处理同样的结合力。 The contact stress resulting in <5% area detachment of the film from a cylinder,which is pressed on a running counterpart,after 5 X 106 cycles is taken as the inter facial fatigue limit, this criterion can be employed as a measure to evaluate bonding strength between the film and the substrate. The bonding strengtb of PCVD TiN is greatly improved when the substrate steel surface is grit blasted- However, if the roughness of the workpiece is critical, pre-nitriding can reach the same adhesion magnitude as that of grit blasting.
出处 《表面工程》 CAS CSCD 1996年第1期7-9,共3页
基金 国家自然科学基金 高校博士点基金
关键词 TIN膜 结合强度 PCVD 氮化 基体 划痕法 喷砂处理 Bonding Strength TiN Nitriding
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