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真空镀膜设备用磁流体密封组件设计使用中的若干问题探讨
被引量：
2
Discussion of several problems in design and application of magnetic fluid sealing component in vacuum film coating equipment
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摘要
就真空镀膜设备中应用磁流体密封技术的若干问题进行了探讨
Several problems in design and application of magnetic fluid sealing component in vacuum film coating equipment are discussed.
作者
张振厚
机构地区
中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
出处
《真空》
CAS
北大核心
2004年第1期41-45,共5页
Vacuum
关键词
真空镀膜设备
磁流体密封技术
真空度
永久磁铁
水冷槽
magnetic fluid
sealing technology
vacuum film coating
分类号
TN305.8 [电子电信—物理电子学]
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