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S型MEMS平面微弹簧的制备和表征研究 被引量：2

Fabrication and Characterization of S-form MEMS Planer Microsprings
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摘要 微弹簧是一种重要的微电子机械系统 ( MEMS)器件 ,它可以为微传感器和微执行器提供弹性驱动力。我们采用 UV- LIGA技术制备出 S型镍平面微弹簧 ,并使用 ANSYS对微弹簧的力学性能进行了模拟。为测试微弹簧的力学性能 ,研制了 1台微弹簧力学性能测试装备。测试结果表明 ,微弹簧可以满足设计需要。另外 ,通过比较得出 :ANSYS对微弹簧力学性能的模拟结果是较为准确的 ,可以作为进一步优化微弹簧设计的基础 ,以满足 MEMS的需要。
作者 石磊 李建华 陈迪 倪智萍 朱军
机构地区 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
出处 《新技术新工艺》 北大核心 2004年第1期19-21,共3页 New Technology & New Process
基金 国家 8 6 3MEMS重大专项资助项目 ( 2 0 0 2 AA 4 0 4 15 0 )
关键词 微电子机械系统 微弹簧 制备 表征 UVLIGA技术 力学性能 microspring, ANSYS,UV LIGA
分类号 TH135 [机械工程—机械制造及自动化]
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参考文献6

  • 1[1]Butefisch S, Seidemann V, Buettgenbach S. A new micropneumatic actuator for micromechanical systems [A].Proceedings of the Transducers [C], 2001:2C2.11P
  • 2[2]Seidemann V, Bütefisch S, Buettgenbach S. Fabrication and investigation of in-plane compliant SU8 structures for MEMS and their application to micro valves and microgrippers [J]. Sensors and Actuators A: Physical Volume:97-98, 2002,4(1):457-461.
  • 3[3]Dai X, Zhao X, Cai B. Development and characterization of electromagnetic microshutter in MEMS variable optical attenuator [A]. Proceedings of IEEE/LEOS International conference on optical MEMS [C], 2002: 63-64.
  • 4[4]Kohl M, Skrobanek K. Linear microactuators based on the shape memory effect [J]. Sensors and Actuators A: Physical Volume: 70, Issue: 1-2, 1998,10(1):104-111.
  • 5[5]Robinsin, Charles H. Ultra-miniature, monolithic, mechanical safety-and-arming (S&A) device for projected munitions. United States Patent 6064013 (2000)
  • 6[6]Williams J, Wang W. UV-LIGA Fabrication of Electromagnetic Power Micro-Relays [A]. ISTM/2001 4th International Symposium on Test and Measurement [C]. 2001:1-7.

同被引文献9

引证文献2

二级引证文献2

新技术新工艺
2004年 第1期

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