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制造业中气体监控系统的分析与设计

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摘要 在使用毒性或危险性气体的制造行业中,如何实现对这些特殊气体的有效监控显得特别重要。本文通过对半导体制造企业的气体监控系统的需求分析,设计了气体监控系统中的网络结构、监控软件功能以及报警系统。实践效果良好。
作者 余兵
出处 《可编程控制器与工厂自动化(PLC FA)》 2004年第2期63-65,共3页 Programmable controller & Factory Automation(PLC & FA)
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