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制造业中气体监控系统的分析与设计
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摘要
在使用毒性或危险性气体的制造行业中,如何实现对这些特殊气体的有效监控显得特别重要。本文通过对半导体制造企业的气体监控系统的需求分析,设计了气体监控系统中的网络结构、监控软件功能以及报警系统。实践效果良好。
作者
余兵
机构地区
重庆勇钢电子机械有限责任公司
出处
《可编程控制器与工厂自动化(PLC FA)》
2004年第2期63-65,共3页
Programmable controller & Factory Automation(PLC & FA)
关键词
半导体制造业
气体监控系统
毒性气体
危险性气体
设计
分类号
X76 [环境科学与工程—环境工程]
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可编程控制器与工厂自动化(PLC FA)
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