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激光准直测量中二维位置敏感器件非线性修正算法研究 被引量:5

STUDY ON CORRECTION OF NON-LINEARITY TO TWO-DIMENSION POSITION SENSITIVE DETECTOR FOR LASER ALIGNMENT MEASUREMENT
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摘要 根据光电位置敏感器件(Position sensitive detector,PSD)的原理和光点位置方程分析了其非线性成因和特点,提出了用神经网络的共轭梯度算法对PSD的非线性进行补偿。以网络总体平均误差为目标函数,以权值和阈值为设计变量,采用真实的梯度法和共轭梯度法对网络参数优化,实现了权值和阈值的快速准确计算,并将该方法应用于PSD线性化,从而使PSD的B区(边缘区域)获得了与A区(中央区域)近似的线性度。故在不增加成本,不改变测量设备复杂度的情况下,扩大了测量范围,提高了B区的测量准确度及数据的置信度。 The principle of position sensitive detector(PSD) is briefly introduced. The causes of non-linearity of PSD are analyzed. Through defining network average error as objective function, weights and thresholds as design variable, network parameters are computed quickly by gradient and conjugate gradient optimizations. Conjugate gradient optimum algorithm for neural network to correct the non-linearity of PSD after pre-calibration are provided. This method is applied to linearity of PSD. The correction leads to prominent improvement of linearity of B-area, and the usable area of PSD is thus extended. The reliability of data is also improved without increasing the complexity of hardware.
出处 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期127-130,共4页 Journal of Mechanical Engineering
基金 国家自然科学基金(50174020) 辽宁省博士起动基金(2001102029)
关键词 位置敏感器件 神经网络 非线性修正 共轭梯度算法 小角度测量 自准直仪 激光测量 Position sensitive detector Neural network Correction of non-linearity Conjugate gradient optimum algorithm
  • 相关文献

参考文献6

二级参考文献17

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  • 2池晓红,朱小平.PSD在形位误差测量中应用[J].现代计量测试,1995,3(6):25-26. 被引量:5
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  • 6池晓红,现代计量测试,1995年,6页
  • 7王志军,测试技术学报,1993年,7卷,2期
  • 8Wang Wangjun,IEEE Trans Electron Devices,1989年,36卷,11期
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  • 10Huang S H,IEEE Trans Comput Packag Manuf Tech,1994年,17卷,2期,212页

共引文献84

同被引文献72

引证文献5

二级引证文献16

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