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《Journal of Microelectronic Manufacturing》

作品数66被引量14H指数2
主要发表集成电路制造领域中从基础研究阶段到工业大规模量产阶段的研究成果,涵盖仿真建模、工艺、设计、量测、封装、材料、设备等全学术研究领域,期刊已被DOAJ、CrossRef、CAS、中国知网、维普等国...查看详情>>
  • 主办单位中国科学院微电子研究所
  • 国际标准连续出版物号2578-3769
  • 出版周期季刊
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