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《Journal of Microelectronic Manufacturing》
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66
被引量
14
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2
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主要发表集成电路制造领域中从基础研究阶段到工业大规模量产阶段的研究成果,涵盖仿真建模、工艺、设计、量测、封装、材料、设备等全学术研究领域,期刊已被DOAJ、CrossRef、CAS、中国知网、维普等国...
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主办单位
中国科学院微电子研究所
国际标准连续出版物号
2578-3769
出版周期
季刊
期刊详情
收录汇总
发表作品
发文分析
刊期
2021
1
2
3
4
2020
1
2
3
4
2019
1
2
3
4
2018
1
2
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