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CMOS兼容湿度传感器的研究进展 被引量：3
1
作者 严先蔚 秦明 黄庆安 《电子器件》 CAS 2001年第1期48-54,共7页
本文主要介绍几种与 CMOS工艺兼容的湿度传感器的结构、工艺、特点以及处理电路 ,并对湿度传感器的发展趋势作了探讨。
关键词 CMOS兼容 湿度传感器 结构
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一种新型CMOS兼容湿度传感器 被引量：7
2
作者 顾磊 黄庆安 +2 位作者 秦明 张中平 严先蔚 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期174-178,共5页
给出了与 CMOS工艺兼容的一种新型梳齿状湿度传感器的结构、工艺流程及其测试结果 .利用 Coventor软件对这种新型结构进行了理论分析 ,对制备出的湿度传感器的性能如灵敏度、滞回特性、重复性、响应时间等进行了测试并讨论 .结果表明文... 给出了与 CMOS工艺兼容的一种新型梳齿状湿度传感器的结构、工艺流程及其测试结果 .利用 Coventor软件对这种新型结构进行了理论分析 ,对制备出的湿度传感器的性能如灵敏度、滞回特性、重复性、响应时间等进行了测试并讨论 .结果表明文中提出的 CMOS湿度传感器工艺简单、响应时间快、成本低、灵敏度高 ,有望在实际中得到应用 . 展开更多
关键词 湿度传感器 微电子机械系统 CMOS MEMS
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微电子机械系统计算机辅助设计 被引量：6
3
作者 黄庆安 秦明 +7 位作者 李伟华 匡一宁 朱珂 章彬 孟为民 鞠瑜华 严先蔚 张昭勇 《电子科技导报》 1999年第10期32-35,共4页
主要介绍 ＭＥＭＳ 计算机辅助设计（ＣＡＤ） 的研究内容和发展，以及和 ＭＥＭＳ ＣＡＤ 有关的ＭＥＭＳ 标准化制造技术的发展情况。
关键词 微机械加工技术 微电子机械系统 MEMS CAD
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